- 专利标题： 一种行波管用螺旋线低电阻率复合涂层的制备方法
- 专利标题（英）： Preparation method for spiral line low-resistance composite coating for traveling wave tube
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申请号： CN201010621308.X申请日： 2010-12-24
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公开(公告)号： CN102560404B公开(公告)日： 2013-11-06
- 发明人: 屈飞 , 李弢 , 王磊 , 杜风贞
- 申请人： 北京有色金属研究总院
- 申请人地址： 北京市新街口外大街2号
- 专利权人： 北京有色金属研究总院
- 当前专利权人： 有研工程技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市新街口外大街2号
- 代理机构： 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 史双元
- 主分类号： C23C14/48
- IPC分类号： C23C14/48 ; C23C14/16
摘要：
本发明公开了属于真空电子和薄膜制备领域的一种行波管用螺旋线低电阻率复合涂层的制备方法。该方法首先采用离子注入的方法对W或Mo表面进行改性，然后通过射频磁控溅射在改性后W或Mo表面由内到外依次涂覆Ti过渡层和Au低电阻涂层。本发明采用离子注入的方法处理W或Mo表面，提高Ti与W或Mo的界面浸润性，简化了行波管用螺旋线复合低电阻涂层的制备工艺，缩短了工艺周期，降低了工艺成本，提高了工艺的可控性。
公开/授权文献
- CN102560404A 一种行波管用螺旋线低电阻率复合涂层的制备方法 公开/授权日：2012-07-11
IPC分类:
