具有增加的扫描速度的光学探针系统
摘要:
一种具有探针的光学探针系统,该探针具有含有远端的光波导(G)。光波导(G)安装在外壳(H)内部,以使得远端相对于外壳(H)可产生位移。一组例如电磁驱动线圈的致动器(A)可以通过施加驱动信号(Vx,Vy)来使远端产生位移。控制单元(CU)产生驱动信号(Vx,Vy)以提供根据驱动信号(Vx,Vy)的幅值而变化的扫描频率。使用这样的探针系统,能够以随着扫描半径而变化的扫描频率来扫描视场。考虑到最大允许驱动电流,与以光学系统的机械共振频率扫描相比,由于能够以高扫描频率来扫描小半径,因此能够增加扫描速度。
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