发明授权
- 专利标题： 一种提高对准精度的对准扫描方法
- 专利标题（英）： Aligning scan method capable of improving aligning accuracy
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申请号： CN201010582193.8申请日： 2010-12-10
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公开(公告)号： CN102540777B公开(公告)日： 2014-06-18
- 发明人: 朱正平 , 李运锋 , 宋海军 , 韦学志
- 申请人： 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
- 专利权人： 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
- 代理机构： 北京连和连知识产权代理有限公司
- 代理商 王光辉
- 主分类号： G03F9/00
- IPC分类号： G03F9/00 ; G03F7/20
摘要：
本发明公开一种对准扫描方法，用于抑制或消除对准过程中出现的寄生干涉，包括：步骤一、使扫描的起始位置位于投影物镜焦深范围内；步骤二、开始扫描，所述扫描过程中满足沿水平方向移动和沿垂直方向匀速移动，所述匀速运动满足使光强变化的频率大于传感器的响应时间；步骤三、使扫描的结束位置位于投影物镜焦深范围内。
公开/授权文献
- CN102540777A 一种提高对准精度的对准扫描方法 公开/授权日：2012-07-04
