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发明公开
CN102509728A 一种非制冷红外探测器的设计及制备方法 无效 - 撤回

  • 专利标题： 一种非制冷红外探测器的设计及制备方法
  • 专利标题（英）： Design and preparation method of non-refrigeration infrared detector
  • 申请号： CN201110338955.4
    申请日： 2011-11-01
  • 公开(公告)号： CN102509728A
    公开(公告)日： 2012-06-20
  • 发明人: 于晓梅 , 袁明泉 , 文永正 , 周晓雄
  • 申请人： 北京大学
  • 申请人地址： 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
  • 专利权人： 北京大学
  • 当前专利权人： 北京大学
  • 当前专利权人地址： 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
  • 主分类号： H01L27/146
  • IPC分类号： H01L27/146 ;  H01L31/103 ;  H01L31/18
一种非制冷红外探测器的设计及制备方法
摘要：
本发明公开了一种非制冷红外探测器的设计和制备方法，特别是关于一种基于单晶硅PN结温度特性的多波段非制冷红外探测器的设计和制备。本发明所提供的红外探测器由红外焦平面阵列、支撑焦平面阵列的衬底以及位于上述衬底上的驱动和读出电路组成；其中，PN结作为红外探测器中温度敏感单元设置在焦平面阵列的像元内，将吸收的热能转化成电压信号输出；设置于像元上的红外吸收结构层用于实现吸收不同波段的红外辐射；焦平面阵列信号最终由读出电路输出。本发明提供的红外探测器可实现非制冷工作和多波段红外探测。
摘要（英）：

The invention discloses a design and preparation method of a non-refrigeration infrared detector, in particular to the design and preparation of a multi-band non-refrigeration infrared detector based on monocrystalline silicon PN junction temperature characteristics. The infrared detector provided by the invention consists of an infrared focal plane array, a substrate and a driving and reading circuit, wherein the substrate supports the focal plane array, the driving and reading circuit is positioned on the substrate, the PN junction is used as a temperature sensing unit in the infrared detector to be arranged in a pixel element of the focal plane array, the absorbed heat energy is converted into voltage signals to be output, an infrared absorption structural layer arranged on the pixel element is used for realizing the absorption of infrared radiation in different wave bands, and the focal plane array signals are finally output by a reading circuit. The infrared detector provided by the invention can realize the non-refrigeration work and the multi-wave-band infrared detection.

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