Invention Grant
CN102498188B 喷墨可印刷的蚀刻油墨及相关方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 喷墨可印刷的蚀刻油墨及相关方法
- Patent Title (English): Ink jet printable etching inks and associated process
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Application No.: CN201080040984.6Application Date: 2010-08-20
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Publication No.: CN102498188BPublication Date: 2014-09-17
- Inventor: O·多尔 , E·普鲁默 , M·詹姆斯 , I·科勒 , L·南森
- Applicant: 默克专利股份有限公司
- Applicant Address: 德国达姆施塔特
- Assignee: 默克专利股份有限公司
- Current Assignee: 默克专利股份有限公司
- Current Assignee Address: 德国达姆施塔特
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 邓毅
- Priority: 09011919.9 2009.09.18 EP
- International Application: PCT/EP2010/005133 2010.08.20
- International Announcement: WO2011/032629 EN 2011.03.24
- Date entered country: 2012-03-15
- Main IPC: C09K13/08
- IPC: C09K13/08
Abstract:
本发明涉及将新的蚀刻组合物无接触地沉积到半导体器件表面上的方法，以及涉及随后的对位于这些半导体器件顶部的功能层进行蚀刻的方法。所述功能层可以作为表面钝化层和/或抗反射涂层(ARC)。
Public/Granted literature
- CN102498188A 喷墨可印刷的蚀刻油墨及相关方法 Public/Granted day:2012-06-13
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