本发明涉及带电粒子束装置的改进和涉及带电粒子束装置的改进。在一种例如电子显微镜的带电粒子束设备中，射束生成装置(101)产生聚焦的带电粒子束e?，该带电粒子束入射在样品室(102)中的样品(104)上，该样品室(102)将该样品保持在气体环境中。压强限制孔(144)提供样品室与射束生成装置的局部气体隔离，并且被设置在后者的透镜(114)中。该设备包括管道，例如在该透镜中的中间室(132)，在使用中，通过该管道，气体被供应以形成从透镜的区域朝向样品的气流，因此防止从样品释放的材料碰撞在压强限制孔上，以防止后者的污染。该设备可被用于用带电粒子束扫描样品的方法中，例如用在电子显微镜检查的方法中。