发明授权
- 专利标题: 针尖位置检测装置和探针装置
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申请号: CN201110233928.0申请日: 2009-04-02
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公开(公告)号: CN102426331B公开(公告)日: 2015-09-23
- 发明人: 山田浩史 , 铃木胜 , 渡边哲治 , 川路武司
- 申请人: 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权: 2008-096646 2008.04.02 JP
- 分案原申请号: 2009101336216 2009.04.02
- 主分类号: G01R31/28
- IPC分类号: G01R31/28 ; G01R1/073 ; G01B11/00 ; G01B11/02
摘要:
本发明提供针尖位置检测装置和探针装置,能简化多个探针高度检测工序并以短时间且高精度检测,而且能提高检查信赖性。该针尖位置检测装置在每次使被检查体与多个探针电接触进行被检查体的电特性检查时,用于检测多个探针的针尖的位置,针尖位置检测装置具有检测多个探针的针尖的传感器部,传感器部具有传感器部主体、能够升降地设置在传感器部主体上的接触体、以及对接触体施加规定压力,使接触体与传感器主体离开规定距离的压力施加单元,而且,传感器部主体具有在由压力施加单元施加的规定压力下弹性地支撑所述接触体的弹力支撑机构,接触体通过在规定压力下与多个探针接触向传感器部主体一侧下降来检测多个探针的针尖位置。
公开/授权文献
- CN102426331A 针尖位置检测装置和探针装置 公开/授权日:2012-04-25