发明授权
- 专利标题： 锶钌氧化物界面
- 专利标题（英）： Strontium ruthenium oxide interface
-
申请号： CN201080020703.0申请日： 2010-04-07
-
公开(公告)号： CN102421935B公开(公告)日： 2013-12-04
- 发明人: 巴斯卡尔·斯里尼瓦桑 , 瓦西尔·安东诺夫 , 约翰·斯迈思
- 申请人： 美光科技公司
- 申请人地址： 美国爱达荷州
- 专利权人： 美光科技公司
- 当前专利权人： 美光科技公司
- 当前专利权人地址： 美国爱达荷州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 宋献涛
- 优先权： 12/421,916 2009.04.10 US
- 国际申请： PCT/US2010/030205 2010.04.07
- 国际公布： WO2010/118109 EN 2010.10.14
- 进入国家日期： 2011-11-10
- 主分类号： C23C16/00
- IPC分类号： C23C16/00 ; C23C16/40 ; C23C16/44 ; H01L21/205
摘要：
锶钌氧化物在钌导体与锶钛氧化物电介质之间提供有效界面。锶钌氧化物的形成包括使用原子层沉积来形成氧化锶和随后对氧化锶实施退火以形成锶钌氧化物。使用水作为氧源对氧化锶进行第一原子层沉积，随后使用臭氧作为氧源对氧化锶进行后续原子层沉积。
公开/授权文献
- CN102421935A 锶钌氧化物界面 公开/授权日：2012-04-18
IPC分类:
