本发明提供了从衬底表面、特别是从图案化的衬底(或晶片)表面上去除颗粒的设备和方法。该清洁设备和方法在清洁图案化的衬底而不明显破坏衬底表面上的特征方面具有优势。该清洁设备和方法包括使用包含带有诸如大于10000g/mol之类大分子量的聚合物化合物的粘弹性清洁材料。该粘弹性清洁材料捕获了在衬底表面上的至少部分颗粒。在足够短的时间内在粘弹性清洁材料上施加力，使该材料呈现促进粘弹性清洁材料与捕获颗粒一起去除的固体状的性质。在短时间内可以施加多次力以接近粘弹性清洁材料的固体状的性质。可替换地，粘弹性清洁材料的温度降低时，粘弹性清洁材料也呈现固体状的性质。