一种T型栅HEMT器件及其制作方法
摘要:
本发明公开一种T型栅的HEMT器件及其制作方法,该方法包括:提供基底,所述基底包括:本体层、外延层、源极、漏极和钝化层;在所述钝化层表面内形成楔形栅脚图形;在具有楔形栅脚图形的钝化层表面上形成双层光刻胶层,在所述双层光刻胶层表面内形成T型栅图形;以具有T型栅图形的双层光刻胶层为掩膜,形成T型栅,所述T型栅的栅脚部分穿过所述钝化层深入到所述外延层表面内,且所述T型栅的栅脚底部呈楔形,该楔形的楔角位于所述T型栅靠近源极的一侧的栅脚底部。T型栅靠近源极的一侧在物理距离上更靠近沟道电子,增强了T型栅对沟道电子的控制能力,并且削弱了T型靠近漏极一侧的栅脚电场,使得器件的击穿电压升高。
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