发明公开
CN102354666A 一种T型栅HEMT器件及其制作方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种T型栅HEMT器件及其制作方法
- 专利标题(英): HEMT (high electron mobility transistor) device of T-shaped gate and manufacturing method thereof
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申请号: CN201110340571.6申请日: 2011-11-01
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公开(公告)号: CN102354666A公开(公告)日: 2012-02-15
- 发明人: 魏珂 , 刘新宇 , 黄俊 , 刘果果
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 逯长明
- 主分类号: H01L21/335
- IPC分类号: H01L21/335 ; H01L21/28 ; H01L29/778 ; H01L29/423
摘要:
本发明公开一种T型栅的HEMT器件及其制作方法,该方法包括:提供基底,所述基底包括:本体层、外延层、源极、漏极和钝化层;在所述钝化层表面内形成楔形栅脚图形;在具有楔形栅脚图形的钝化层表面上形成双层光刻胶层,在所述双层光刻胶层表面内形成T型栅图形;以具有T型栅图形的双层光刻胶层为掩膜,形成T型栅,所述T型栅的栅脚部分穿过所述钝化层深入到所述外延层表面内,且所述T型栅的栅脚底部呈楔形,该楔形的楔角位于所述T型栅靠近源极的一侧的栅脚底部。T型栅靠近源极的一侧在物理距离上更靠近沟道电子,增强了T型栅对沟道电子的控制能力,并且削弱了T型靠近漏极一侧的栅脚电场,使得器件的击穿电压升高。
IPC分类: