• Patent Title: 一种纳米周期结构光子晶体的制造方法
  • Patent Title (English): Method for manufacturing nano-scale periodic structured photonic crystals
  • Application No.: CN201110185296.5
    Application Date: 2011-07-04
  • Publication No.: CN102243438A
    Publication Date: 2011-11-16
  • Inventor: 张雄崔一平
  • Applicant: 东南大学
  • Applicant Address: 江苏省南京市四牌楼2号
  • Assignee: 东南大学
  • Current Assignee: 东南大学
  • Current Assignee Address: 江苏省南京市四牌楼2号
  • Agency: 南京苏高专利商标事务所
  • Agent 柏尚春
  • Main IPC: G03F7/00
  • IPC: G03F7/00
一种纳米周期结构光子晶体的制造方法
Abstract:
本发明公开了一种纳米周期结构光子晶体的制造方法,包括如下步骤:(1)在样品表面涂一层厚度低于150纳米的感光胶;(2)将反射镜和样品竖直固定在样品台上;(3)通过公式2dSinθ=nλ选择入射到样品表面的激光束波长λ和入射角θ;(4)对样品进行第一次曝光;(5)将固定有样品的样品架旋转60°或者90°后进行第二次曝光,获得具有纳米周期结构的三角格子或者正方格子的光子晶体图案;(6)将经历两次曝光的样品从样品架上取下,进行显影、定影、烘烤、刻蚀系列标准工艺工程,直至在样品表面获得纳米周期结构的光子晶体。本发明提供的方法简单、快速,能够在各种材料表面制成高精度和高对比度的纳米周期结构的光子。
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