相变存储器单元形成方法
摘要:
一种相变存储器单元形成方法,包括:提供形成有第一金属层的半导体衬底,所述半导体衬底形成有覆盖第一金属层的第一层间介质层,所述第一层间介质层表面覆盖有阻挡层和第二层间介质层,形成在第二层间介质层、阻挡层和第一层间介质层内并暴露出第一金属层的开口;在所述开口的侧壁和底部形成粘附层;采用第二金属层填满所述开口;刻蚀开口内的第二金属层与阻挡层齐平;刻蚀粘附层并使得刻蚀后的粘附层高于刻蚀后的第二金属层;采用相变材料层填满所述开口。本发明形成的相变存储器单元性能较优。
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