发明授权
- 专利标题: 相变存储器单元形成方法
- 专利标题(英): Formation method for phase-change memory unit
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申请号: CN201010168871.6申请日: 2010-04-29
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公开(公告)号: CN102237492B公开(公告)日: 2013-04-17
- 发明人: 张翼英 , 洪中山
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: H01L45/00
- IPC分类号: H01L45/00
摘要:
一种相变存储器单元形成方法,包括:提供形成有第一金属层的半导体衬底,所述半导体衬底形成有覆盖第一金属层的第一层间介质层,所述第一层间介质层表面覆盖有阻挡层和第二层间介质层,形成在第二层间介质层、阻挡层和第一层间介质层内并暴露出第一金属层的开口;在所述开口的侧壁和底部形成粘附层;采用第二金属层填满所述开口;刻蚀开口内的第二金属层与阻挡层齐平;刻蚀粘附层并使得刻蚀后的粘附层高于刻蚀后的第二金属层;采用相变材料层填满所述开口。本发明形成的相变存储器单元性能较优。
公开/授权文献
- CN102237492A 相变存储器单元形成方法 公开/授权日:2011-11-09
IPC分类: