透明导电膜湿法蚀刻液组合物
摘要:
本发明提供一种透明导电膜湿法蚀刻液组合物。该透明导电膜湿法蚀刻液组合物包含(1)0.5-10wt%的草酸;(2)0.1-50wt%的乙酸;(3)0.01-10wt%的铵盐;(4)0.001-10wt%的表面活性剂;(5)余量水。该蚀刻液组合物蚀刻速率均匀稳定,无残留,不腐蚀配线。
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