发明公开
CN102219360A 多晶硅铸锭免喷涂熔融石英坩埚的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 多晶硅铸锭免喷涂熔融石英坩埚的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing polycrystalline silicon ingot casting fused quartz crucible without spraying
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申请号: CN201110118010.1申请日: 2011-05-08
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公开(公告)号: CN102219360A公开(公告)日: 2011-10-19
- 发明人: 方清
- 申请人: 江苏润弛太阳能材料科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省镇江市扬中市油坊镇明珠路1号
- 专利权人: 江苏润弛太阳能材料科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏润弛太阳能材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省镇江市扬中市油坊镇明珠路1号
- 代理机构: 南京天华专利代理有限责任公司
- 代理商 徐冬涛
- 主分类号: C03B20/00
- IPC分类号: C03B20/00 ; C03C17/22 ; C30B29/06 ; C30B28/06
摘要:
本发明公开了一种多晶硅铸锭免喷涂熔融石英坩埚的制造方法,其先将高纯熔融石英原料一起通过球磨研磨进行湿法造粒,将料浆充分搅拌后,再加入粉状高纯熔融石英原料混合均匀,然后注入石膏模具中进行充分的脱水成型,脱模;脱模后的坯体在180℃以下进行干燥,制得毛坯;对毛坯进行打磨、清洁预处理;在毛坯内表面喷涂0.2~0.7mm的氮化硅涂层;将喷有氮化硅涂层的毛坯在旋转窑炉中于1000~1300℃下旋转烧结14~24小时。本发明较现有技术缩短了生产周期,简化了生产工艺,大大降低了能耗,提高了生产效率、成品率及企业的经济效益。
公开/授权文献
- CN102219360B 多晶硅铸锭免喷涂熔融石英坩埚的制造方法 公开/授权日:2013-01-09