Invention Publication
- Patent Title: 用于临时晶片粘合的环烯烃组合物
- Patent Title (English): Cyclic olefin compositions for temporary wafer bonding
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Application No.: CN200980142330.1Application Date: 2009-10-22
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Publication No.: CN102203917APublication Date: 2011-09-28
- Inventor: 洪文斌 , 白东顺 , T·D·弗莱 , R·普利吉达
- Applicant: 布鲁尔科技公司
- Applicant Address: 美国密苏里州
- Assignee: 布鲁尔科技公司
- Current Assignee: 布鲁尔科技公司
- Current Assignee Address: 美国密苏里州
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 郭辉
- Priority: 12/263,120 2008.10.31 US
- International Application: PCT/US2009/061633 2009.10.22
- International Announcement: WO2010/051212 EN 2010.05.06
- Date entered country: 2011-04-22
- Main IPC: H01L21/302
- IPC: H01L21/302 ; H01L21/304

Abstract:
提供了新颖的组合物以及使用这些组合物作为粘合组合物的方法。所述组合物包含分散或溶解在溶剂体系中的环烯烃共聚物,可以用来将活性晶片粘合到载体晶片或基片上,以便在后续加工和处理过程中帮助保护所述活性晶片及其活性位点。所述组合物形成耐化学和耐热的粘合层,但也可以被软化或溶解以允许所述晶片在制造过程的合适步骤中滑动或拉动分离。
Public/Granted literature
- CN102203917B 用于临时晶片粘合的环烯烃组合物 Public/Granted day:2015-09-02
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IPC分类: