发明授权
- 专利标题： 带状粒子束用的质量分析磁铁
- 专利标题（英）： Mass analysis magnet for a ribbon beam
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申请号： CN200980143988.4申请日： 2009-11-12
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公开(公告)号： CN102203914B公开(公告)日： 2013-01-16
- 发明人: 维克多·M·本夫尼斯特 , 詹姆士·S·贝福 , 法兰克·辛克莱 , 约瑟·C·欧尔森
- 申请人： 瓦里安半导体设备公司
- 申请人地址： 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
- 专利权人： 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人： 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人地址： 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 臧建明
- 优先权： 61/114,312 2008.11.13 US; 12/616,589 2009.11.11 US
- 国际申请： PCT/US2009/064159 2009.11.12
- 国际公布： WO2010/056823 EN 2010.05.20
- 进入国家日期： 2011-05-04
- 主分类号： H01L21/265
- IPC分类号： H01L21/265
摘要：
一种带状离子束质量分析器，具有第一螺线管线圈、第二螺线管线圈以及钢质磁轭配置。每个螺线管线圈具有大致的“轨道”组态，界定了一个可供带状离子束从中穿行的空间。这两个螺线管线圈沿着带状离子束的穿行方向而分开。每个螺线管线圈产生均匀的磁场，供较宽的带状离子束进行质量解析，以产生想要的离子图像，其中离子是由离子源产生的。
公开/授权文献
- CN102203914A 带状粒子束用的质量分析磁铁 公开/授权日：2011-09-28
IPC分类:
