- 专利标题: 静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台
- 专利标题(英): Static pressure bearing device and stage provided with same
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申请号: CN201010293517.6申请日: 2010-09-21
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公开(公告)号: CN102135137B公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: 内村胜次 , 伊藤守
- 申请人: 新东工业株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 新东工业株式会社
- 当前专利权人: 新东工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 李洋; 舒艳君
- 优先权: 2010-011528 2010.01.22 JP
- 主分类号: F16C32/06
- IPC分类号: F16C32/06
摘要:
提供高精度的静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台,通过构成节流孔、通气槽等,使得加压气体在通气路径的全体区域维持层流状态,从而防止振动的发生。在静压轴承装置中,为了使加压气体在通气路径的全体区域能够维持层流状态而设计了节流孔(14)、通气槽以及排气槽(12)的形状等结构,通气槽宽度方向的截面形状形成为朝向离开滑动面(10a)的方向突出的曲线,另外,通气槽包括:环状槽(11b),其围绕节流孔(14)形成为环状;多个分配槽(11a),它们以节流孔(14)为中心朝向环状槽(11b)以放射状延伸设置并将环状槽(11b)与节流孔(14)连通,且形成为相对于移动体(10)的移动方向中心线对称。
公开/授权文献
- CN102135137A 静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台 公开/授权日:2011-07-27