静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台
摘要:
提供高精度的静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台,通过构成节流孔、通气槽等,使得加压气体在通气路径的全体区域维持层流状态,从而防止振动的发生。在静压轴承装置中,为了使加压气体在通气路径的全体区域能够维持层流状态而设计了节流孔(14)、通气槽以及排气槽(12)的形状等结构,通气槽宽度方向的截面形状形成为朝向离开滑动面(10a)的方向突出的曲线,另外,通气槽包括:环状槽(11b),其围绕节流孔(14)形成为环状;多个分配槽(11a),它们以节流孔(14)为中心朝向环状槽(11b)以放射状延伸设置并将环状槽(11b)与节流孔(14)连通,且形成为相对于移动体(10)的移动方向中心线对称。
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