发明授权
- 专利标题: N型超结VDMOS中多晶硅P型柱的形成方法
- 专利标题(英): Method for forming polysilicon P type column in N type super-junction VDMOS (Vertical Double Diffused Metal Oxide Semiconductor)
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申请号: CN201010027303.4申请日: 2010-01-18
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公开(公告)号: CN102129998B公开(公告)日: 2012-08-01
- 发明人: 钱文生 , 韩峰
- 申请人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 专利权人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 丁纪铁
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336
摘要:
本发明公开了一种N型超结VDMOS中多晶硅P型柱的形成方法,包括:步骤一、在一N型硅衬底上形成N型漏区以及N型硅外延层,在N型外延层上刻蚀出V型槽或锥形孔;步骤二、淀积三层多晶硅填满V型槽或锥形孔,其中第二层多晶硅淀积后,进行P型杂质的注入,注入后N型外延层中的P型杂质总量与N型杂质总量相等,三层多晶硅淀积完成后,对衬底表面进行研磨平整化;步骤三、对注入的P型杂质进行退火推进,形成多晶硅P型柱;步骤四、形成N型超结VDMOS的源区、栅极以及源、漏和栅极的金属接触。本发明能够降低工艺成本,并能实现器件的低导通电阻高耐压特性,且工艺参数的可调节性强,适用范围广。
公开/授权文献
- CN102129998A N型超结VDMOS中多晶硅P型柱的形成方法 公开/授权日:2011-07-20
IPC分类: