N型超结VDMOS中多晶硅P型柱的形成方法
摘要:
本发明公开了一种N型超结VDMOS中多晶硅P型柱的形成方法,包括:步骤一、在一N型硅衬底上形成N型漏区以及N型硅外延层,在N型外延层上刻蚀出V型槽或锥形孔;步骤二、淀积三层多晶硅填满V型槽或锥形孔,其中第二层多晶硅淀积后,进行P型杂质的注入,注入后N型外延层中的P型杂质总量与N型杂质总量相等,三层多晶硅淀积完成后,对衬底表面进行研磨平整化;步骤三、对注入的P型杂质进行退火推进,形成多晶硅P型柱;步骤四、形成N型超结VDMOS的源区、栅极以及源、漏和栅极的金属接触。本发明能够降低工艺成本,并能实现器件的低导通电阻高耐压特性,且工艺参数的可调节性强,适用范围广。
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