N型超结VDMOS中P型柱的形成方法
摘要:
本发明公开了一种N型超结VDMOS中P型柱的形成方法,包括步骤:步骤一、在一N型硅衬底上形成N型漏区以及N型硅外延层,在N型外延层上刻蚀出V型槽或锥形孔;步骤二、生长一层牺牲氧化层,对V型槽或锥形孔进行高能量P型杂质的注入,注入后N型外延层中的P型杂质总量与N型杂质总量相等;步骤三、对注入的P型杂质进行高温推进,形成P型柱;步骤四、去除牺牲氧化层,在V型槽或锥形孔中填满氧化硅,表面进行研磨平整,接着形成N型超结VDMOS的源区、栅极以及源、漏和栅极的金属接触。本发明能够降低工艺成本,并能实现器件的低导通电阻高耐压特性,且工艺参数的可调节性强,适用范围广。
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