发明授权
- 专利标题: N型超结VDMOS中P型柱的形成方法
- 专利标题(英): Method for forming P-type pole in N-type super junction vertical double diffused metal oxide semiconductor (VDMOS)
-
申请号: CN201010027302.X申请日: 2010-01-18
-
公开(公告)号: CN102129997B公开(公告)日: 2012-10-03
- 发明人: 钱文生 , 韩峰
- 申请人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 专利权人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 丁纪铁
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L21/265
摘要:
本发明公开了一种N型超结VDMOS中P型柱的形成方法,包括步骤:步骤一、在一N型硅衬底上形成N型漏区以及N型硅外延层,在N型外延层上刻蚀出V型槽或锥形孔;步骤二、生长一层牺牲氧化层,对V型槽或锥形孔进行高能量P型杂质的注入,注入后N型外延层中的P型杂质总量与N型杂质总量相等;步骤三、对注入的P型杂质进行高温推进,形成P型柱;步骤四、去除牺牲氧化层,在V型槽或锥形孔中填满氧化硅,表面进行研磨平整,接着形成N型超结VDMOS的源区、栅极以及源、漏和栅极的金属接触。本发明能够降低工艺成本,并能实现器件的低导通电阻高耐压特性,且工艺参数的可调节性强,适用范围广。
公开/授权文献
- CN102129997A N型超结VDMOS中P型柱的形成方法 公开/授权日:2011-07-20
IPC分类: