一种微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种可对壁面剪应力进行流场非破坏性测量的微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法,属于传感器技术领域。包括感测部分1、弹性变形部分2、基底6以及位于弹性变形部分2上的压敏电阻、导线和焊盘;该装置通过基底6安装固定在待测结构7上,感测部分1的上表面与待测结构7的被测表面平齐。本发明提出的微型压阻式壁面剪应力测量装置可以达到较好的综合性能:(1)高灵敏度;可以大幅度降低弹性变形部分2的弯曲刚度,从而可以使装置具有较高测量灵敏度。(2)制作环节和工艺简单;只需要常规的微加工工艺,降低了制作成本,提高了工艺的可靠性和可控制性。(3)能够对流场进行非侵入式的壁面剪应力测量。
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