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发明授权
CN102089964B 用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列
  • 专利标题（英）： Multi-axis, large tilt angle, wafer level micromirror array for large scale beam steering applications
  • 申请号： CN200980120392.2
    申请日： 2009-04-08
  • 公开(公告)号： CN102089964B
    公开(公告)日： 2014-02-19
  • 发明人: A·拉尔 , S·M·阿尔达努克
  • 申请人： 康奈尔大学
  • 申请人地址： 美国纽约
  • 专利权人： 康奈尔大学
  • 当前专利权人： 康奈尔大学
  • 当前专利权人地址： 美国纽约
  • 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
  • 代理商 陈松涛; 夏青
  • 优先权： 61/043,379 2008.04.08 US
  • 国际申请： PCT/US2009/002181 2009.04.08
  • 国际公布： WO2009/126263 EN 2009.10.15
  • 进入国家日期： 2010-12-01
  • 主分类号： H02N6/00
  • IPC分类号： H02N6/00
用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列
摘要：
一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统(120)，包括配置为支撑反射元件(130)阵列的第一衬底(144)，所述反射元件能够响应于反射器角度控制信号在整个基本上90度的范围内进行角度移位，还包括控制器，其被编程为产生反射器角度控制信号以实现期望的入射能量、束或波前重定向。反射元件(130)优选包括铰接地或可移动地附接至第一衬底(130)上的MEMS微反射器元件，并且限定瞄准入射的光、微波或声能的源的反射表面。
摘要（英）：

A system (120) for reflecting or redirecting incident light, microwave or sound energy includes a first substrate (144) configured to support an array of reflective elements (130) that can be angularly displaced through a range of substantially (90) degrees in response to a reflector angle control signal and a controller programmed to generate the reflector angle control signal to achieve desired incident energy, beam or wavefront redirection. The reflective elements (130) preferably comprise MEMS micro-reflector elements hingedly or movably attached to the first substrate (130) and define a reflective surface that is aimed at the source of incident light, microwave or sound energy.

公开/授权文献
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