半导体密封材料以及使用该半导体密封材料的半导体密封方法
摘要:
本发明的半导体密封材料的特征在于,由金属包覆用玻璃构成,该金属包覆用玻璃的应变点为480℃以上,与104dPa·s的粘度相应的温度为1100℃以下,在30~380℃下的热膨胀系数为70×10-7~110×10-7/℃。本发明的半导体密封材料不含对环境有害的物质,具有500℃以上的较高耐热温度,而且,可以密封镀铜铁镍合金等易氧化的金属。
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