- 专利标题: 对准系统参考板和探测光纤的安装、调整装置及装调方法
- 专利标题(英): Installation and adjustment device and method for alignment system reference board and detection optical fiber
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申请号: CN201010504660.5申请日: 2010-10-12
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公开(公告)号: CN101976021B公开(公告)日: 2012-11-14
- 发明人: 袁永刚
- 申请人: 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址: 上海市张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: G03F9/00
- IPC分类号: G03F9/00 ; G03F7/20 ; G02B7/00
摘要:
本发明涉及对准系统参考板和探测光纤的安装、调整装置及装调方法,该装置包括参考板支架、参考板调节板、探测光纤连接板和光纤定位架;所述对准系统参考板安装在所述参考板调节板的一侧;所述参考板调节板安装在所述参考板支架的侧面,所述对准系统参考板嵌入所述参考板支架内;所述光纤定位架嵌在所述探测光纤连接板内,所述探测光纤连接板安装在所述参考板调节板的另一侧;所述探测光纤的一端依次穿过所述光纤定位架、探测光纤连接板和参考板调节板,连接在所述对准系统参考板的后端。
公开/授权文献
- CN101976021A 对准系统参考板和探测光纤的安装、调整装置及装调方法 公开/授权日:2011-02-16