发明公开
CN101945818A 用于测量和表征干涉式调制器的方法
失效 - 放弃专利权
- 专利标题: 用于测量和表征干涉式调制器的方法
- 专利标题(英): Methods for measurement and characterization of interferometric modulators
-
申请号: CN200980104857.5申请日: 2009-02-06
-
公开(公告)号: CN101945818A公开(公告)日: 2011-01-12
- 发明人: 阿洛科·戈维尔 , 马克·米尼亚尔 , 卡斯拉·哈泽尼
- 申请人: 高通MEMS科技公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 高通MEMS科技公司
- 当前专利权人: 高通MEMS科技公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 宋献涛
- 优先权: 61/027,781 2008.02.11 US; 61/101,632 2008.09.30 US
- 国际申请: PCT/US2009/033471 2009.02.06
- 国际公布: WO2009/102645 EN 2009.08.20
- 进入国家日期: 2010-08-11
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00 ; G01R31/00
摘要:
本发明描述用以表征干涉式调制器或类似装置的各种方法。干涉式调制器上测得的电压可用于表征所述干涉式调制器的转变电压。可通过测得的电流的积分来分析测得的电流以提供所述干涉式调制器的动态响应的指示。可使用频率分析来提供所述干涉式调制器的滞后窗或所述干涉式调制器的机械性质的指示。可通过信号相关来确定电容,且可使用扩展频谱分析来使噪声或干扰对各种干涉式调制器参数的测量的影响最小化。