本发明描述了一种平均粒度小于10μm的金属粉末或合金粉末的制备方法和设备，该合金粉末或合金粉末含有活性金属锆、钛或铪中的至少一种金属，该方法使用还原金属来金属热还原所述活性金属的氧化物和卤化物得到，其中，所述金属粉末或合金粉末通过在所述金属氧化物或卤化物的还原反应中和/或之后加入钝化气体或气体混合物被减敏，或者通过在所述金属氧化物或卤化物的还原反应之前加入钝化固体物质被减敏，其中，还原反应和减敏反应都在单个的不透气的、可以被抽真空的反应釜中进行。