发明授权
- 专利标题: 具有改进气路的定向凝固炉
- 专利标题(英): Unidirectional solidification furnace with improved gas path
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申请号: CN201010275441.4申请日: 2010-09-07
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公开(公告)号: CN101914806B公开(公告)日: 2014-05-07
- 发明人: 李园
- 申请人: 王楚雯
- 申请人地址: 北京市海淀区清华大学南零楼3-302号
- 专利权人: 王楚雯
- 当前专利权人: 王楚雯
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华大学南零楼3-302号
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 黄德海
- 主分类号: C30B11/00
- IPC分类号: C30B11/00 ; C30B28/06 ; C30B29/06 ; C30B27/00
摘要:
本发明公开了一种定向凝固炉,包括:上炉体;下炉体,下炉体与上炉体相配合以形成炉体空间;坩埚;至少一个加热器;坩埚保持器,坩埚保持器用于保持坩埚;盖板,盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端;隔热部件,隔热部件容纳在炉体空间内,并被构造成相对于坩埚纵向可移动,以控制坩埚内的给料的定向凝固,第一通气管,连接至外部气源并竖直地与隔热部件上的通孔对准;以及第二通气管,其第一端相对于第一通气管套接,从而第二通气部件可纵向移动地与盖板的上表面接触。根据本发明,定向凝固炉能够解决现有的定向凝固炉中气路的定位问题,并可以提高整个多晶锭的生产效率。
公开/授权文献
- CN101914806A 具有改进气路的定向凝固炉 公开/授权日:2010-12-15
IPC分类: