用于形成光刻用下层膜的组合物和多层抗蚀图案的形成方法
摘要:
本发明提供一种赋予光刻用下层膜良好的光学特性和耐蚀刻性的用于形成光刻用下层膜的组合物,以及由该组合物形成的折射率(n)高、消光系数(k)低、透明且耐蚀刻性高、而且升华性成分极其少的下层膜,以及使用了该下层膜的图案形成方法。这样的用于形成下层膜的组合物至少含有使萘和/或烷基萘与甲醛反应而得到的含有特定单元的萘甲醛系聚合物和有机溶剂。
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