- 专利标题: 用于形成光刻用下层膜的组合物和多层抗蚀图案的形成方法
- 专利标题(英): Composition for forming base film for lithography and method for forming multilayer resist pattern
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申请号: CN200880119430.8申请日: 2008-12-01
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公开(公告)号: CN101889247A公开(公告)日: 2010-11-17
- 发明人: 小黑大 , 东原豪 , 北诚二 , 北村光晴 , 荻原雅司
- 申请人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 当前专利权人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京润平知识产权代理有限公司
- 代理商 周建秋; 王凤桐
- 优先权: 2007-317102 2007.12.07 JP; 2007-318874 2007.12.10 JP; 2007-334057 2007.12.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2008/071798 2008.12.01
- 国际公布: WO2009/072465 JA 2009.06.11
- 进入国家日期: 2010-06-04
- 主分类号: G03F7/11
- IPC分类号: G03F7/11 ; C08G8/38 ; G03F7/40 ; H01L21/027
摘要:
本发明提供一种赋予光刻用下层膜良好的光学特性和耐蚀刻性的用于形成光刻用下层膜的组合物,以及由该组合物形成的折射率(n)高、消光系数(k)低、透明且耐蚀刻性高、而且升华性成分极其少的下层膜,以及使用了该下层膜的图案形成方法。这样的用于形成下层膜的组合物至少含有使萘和/或烷基萘与甲醛反应而得到的含有特定单元的萘甲醛系聚合物和有机溶剂。
公开/授权文献
- CN101889247B 用于形成光刻用下层膜的组合物和多层抗蚀图案的形成方法 公开/授权日:2013-04-03
IPC分类: