发明授权
- 专利标题: 硅杯腐蚀夹具
- 专利标题(英): Corrosion clamp for silicon cup
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申请号: CN201010230800.4申请日: 2010-07-14
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公开(公告)号: CN101880879B公开(公告)日: 2011-12-28
- 发明人: 郁培军 , 沈绍群
- 申请人: 无锡华润华晶微电子有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新区国家高新技术产业开发区信息产业科技园C座
- 专利权人: 无锡华润华晶微电子有限公司
- 当前专利权人: 无锡华润华晶微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新区国家高新技术产业开发区信息产业科技园C座
- 代理机构: 无锡市大为专利商标事务所
- 代理商 殷红梅
- 主分类号: C23F1/08
- IPC分类号: C23F1/08 ; C23F1/02 ; C23F1/24 ; B81C1/00
摘要:
本发明涉及一种硅杯腐蚀夹具,其包括安装块,所述安装块的中心区设有腐蚀孔,安装块的一端凸设有定位块,所述定位块与安装块间形成台阶;所述安装块对应于设置定位块的端部设有压板,所述压板上设有顶板,所述顶板上设有压片,所述压片与定位块相紧固连接;顶板与压板相紧固连接。本发明通过顶板、压板及压片与安装块的对应配合,将圆片放置在安装块与压板间,圆片端部边缘设置密封圈,能够对圆片边缘进行有效保护。压板上设有第二连接块,使压板与圆片的接触面积减小,形成软解触,避免圆片的损伤。结构简单,保护成本低,保护效果好,安全可靠。
公开/授权文献
- CN101880879A 硅杯腐蚀夹具 公开/授权日:2010-11-10
IPC分类: