硅杯腐蚀夹具
摘要:
本发明涉及一种硅杯腐蚀夹具,其包括安装块,所述安装块的中心区设有腐蚀孔,安装块的一端凸设有定位块,所述定位块与安装块间形成台阶;所述安装块对应于设置定位块的端部设有压板,所述压板上设有顶板,所述顶板上设有压片,所述压片与定位块相紧固连接;顶板与压板相紧固连接。本发明通过顶板、压板及压片与安装块的对应配合,将圆片放置在安装块与压板间,圆片端部边缘设置密封圈,能够对圆片边缘进行有效保护。压板上设有第二连接块,使压板与圆片的接触面积减小,形成软解触,避免圆片的损伤。结构简单,保护成本低,保护效果好,安全可靠。
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