一种微波衰减器材料及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种微波衰减器材料及其制备方法,特别涉及一种AlN-Mo微波衰减器材料及其制备方法,属于微波电子真空技术领域,其包括金属相Mo:20~25vol.%;烧结助剂CaF2:2~5vol.%;其余为介质相AlN;采用浆料包覆法制备AlN-Mo复合粉体,再经过单向轴压成型,然后进行冷等静压成型,得到AlN-Mo复合生坯;将生坯置于ZrO2或AlN坩埚中进行氮气氛下常压烧结,即得到AlN-Mo复合块体材料。本发明方法降低了烧结温度,缩短了烧结时间,提高了金属-介质复合微波衰减材料的烧结致密度,利于批量生产;可获得高致密度、无缺陷及均匀性、一致性好的金属-介质微波衰减器材料。
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