发明授权

一种二维微动平台
摘要:
本发明公开了一种二维微动平台,包括基座(1)以及通过若干柔性铰链与基座(1)相连的工作台(12),均与工作台(12)相连接的包含有X向杠杆(2)的X向杠杆放大机构(3)和包含有Y向杠杆(4)的Y向杠杆放大机构(5),X向杠杆放大机构(3)和Y向杠杆放大机构(4)上分设的驱动器(6)。通过结构对称布置和若干柔性铰链的刚度对称设计,使X向和Y向均达到了良好的解耦效果,降低了超精密运动控制的难度;在降低耦合的同时提高了运动放大比,扩大了微动平台的工作行程;X向和Y向驱动在同一平面内实现二维运动,结构紧凑,利于实施。
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