Invention Publication
- Patent Title: 感光性树脂组合物和图案形成方法
- Patent Title (English): A photosensitive resin composition and a method forming a pattern using the same
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Application No.: CN201010003193.8Application Date: 2010-01-14
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Publication No.: CN101794073APublication Date: 2010-08-04
- Inventor: 能谷敦子 , 远山宜亮
- Applicant: AZ电子材料(日本)株式会社
- Applicant Address: 日本国东京都
- Assignee: AZ电子材料(日本)株式会社
- Current Assignee: 默克专利有限公司
- Current Assignee Address: 日本国东京都
- Agency: 北京三幸商标专利事务所
- Agent 刘激扬
- Priority: 2009-018321 2009.01.29 JP
- Main IPC: G03F7/004
- IPC: G03F7/004 ; G03F7/00

Abstract:
提供一种感光性树脂组合物,其在进行狭缝涂敷后,在不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行自然干燥的情况下,干燥时间短、没有涂敷不匀、涂敷膜厚均一,曝光、显影后的抗蚀图案的形状良好。作为感光性树脂组合物,采用含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感光剂、以及丙二醇单甲醚乙酸酯(A)与沸点为145℃以下且乙酸正丁酯蒸发速度为50以上的溶剂(B)的混合溶剂的感光性树脂组合物,将其通过狭缝涂敷法涂敷于基板上,不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行干燥,然后进行曝光、显影,形成抗蚀图案。
Public/Granted literature
- CN101794073B 感光性树脂组合物和图案形成方法 Public/Granted day:2013-07-17
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IPC分类: