感光性树脂组合物和图案形成方法
Abstract:
提供一种感光性树脂组合物,其在进行狭缝涂敷后,在不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行自然干燥的情况下,干燥时间短、没有涂敷不匀、涂敷膜厚均一,曝光、显影后的抗蚀图案的形状良好。作为感光性树脂组合物,采用含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感光剂、以及丙二醇单甲醚乙酸酯(A)与沸点为145℃以下且乙酸正丁酯蒸发速度为50以上的溶剂(B)的混合溶剂的感光性树脂组合物,将其通过狭缝涂敷法涂敷于基板上,不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行干燥,然后进行曝光、显影,形成抗蚀图案。
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