一种薄膜制备装置包括前驱体溶液制备装置和薄膜沉积装置。所述前驱体溶液制备装置包括储液罐、汽化装置和吸收塔。所述储液罐和所述汽化装置均与所述吸收塔相连通。所述储液罐用于储存镀膜溶液并向吸收塔提供镀膜溶液。所述汽化装置用于汽化掺杂剂溶液并向吸收塔提供汽化后的掺杂剂溶液。所述吸收塔为板式吸收塔、填料塔或湍球塔，当所述吸收塔为板式吸收塔时，板式吸收塔的塔板为筛孔塔板、浮阀塔板或泡罩塔板，所述吸收塔用于使镀膜溶液吸收汽化后的掺杂剂溶液溶液从而得到前驱体溶液。所述薄膜沉积装置用于将前驱体溶液导至待镀膜的基板表面以形成薄膜。