发明公开
CN101768730A 一种薄膜制备装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种薄膜制备装置
- 专利标题(英): Film preparation device
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申请号: CN200910300041.1申请日: 2009-01-05
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公开(公告)号: CN101768730A公开(公告)日: 2010-07-07
- 发明人: 裴绍凯
- 申请人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 , 鸿海精密工业股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
- 专利权人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
- 当前专利权人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
- 主分类号: C23C16/30
- IPC分类号: C23C16/30
摘要:
一种薄膜制备系统包括前驱体溶液制备装置和薄膜沉积装置。所述前驱体溶液制备装置包括储液罐、汽化装置和吸收塔。所述储液罐和所述汽化装置均与所述吸收塔相连通。所述储液罐用于储存镀膜溶液并向吸收塔提供镀膜溶液。所述汽化装置用于汽化掺杂剂溶液并向吸收塔提供汽化后的掺杂剂溶液。所述吸收塔用于使镀膜溶液吸收汽化后的掺杂剂溶液从而得到前驱体溶液。所述薄膜沉积装置用于将前驱体溶液导至待镀膜的基板表面以形成薄膜。
公开/授权文献
- CN101768730B 一种薄膜制备装置 公开/授权日:2013-06-05
IPC分类: