具有双超浅隔离结构的多点式硅晶体管
摘要:
本发明揭露了一种具有双超浅隔离结构的多点式硅晶体管,其包含至少邻接的二晶体管单元,所述各晶体管单元水平设于硅基板中,且相邻晶体管单元互相对称设置,每一晶体管单元包含一第一、第二超浅沟道结构、一第一、第二型掺杂区,一介于所述第一、第二超浅沟槽结构之间的第二型轻掺杂区。第一、第二型掺杂区不但分别与第一、第二超浅沟槽结构邻接,并与第二型轻掺杂区邻接,另外在第二型轻掺杂区的表面形成一第一型射极结构。本发明能使与基极连接的基极连接导线的内阻变小,以减少整个器件的功率消耗。
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