发明授权
- 专利标题: 具有双超浅隔离结构的多点式硅晶体管
- 专利标题(英): Multi-point silicon transistor with double ultra sallow isolation structures
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申请号: CN200910198058.0申请日: 2009-10-30
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公开(公告)号: CN101697350B公开(公告)日: 2011-08-17
- 发明人: 彭树根 , 高明辉
- 申请人: 上海宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号
- 专利权人: 上海宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01L27/082
- IPC分类号: H01L27/082 ; H01L29/73 ; H01L21/762
摘要:
本发明揭露了一种具有双超浅隔离结构的多点式硅晶体管,其包含至少邻接的二晶体管单元,所述各晶体管单元水平设于硅基板中,且相邻晶体管单元互相对称设置,每一晶体管单元包含一第一、第二超浅沟道结构、一第一、第二型掺杂区,一介于所述第一、第二超浅沟槽结构之间的第二型轻掺杂区。第一、第二型掺杂区不但分别与第一、第二超浅沟槽结构邻接,并与第二型轻掺杂区邻接,另外在第二型轻掺杂区的表面形成一第一型射极结构。本发明能使与基极连接的基极连接导线的内阻变小,以减少整个器件的功率消耗。
公开/授权文献
- CN101697350A 具有双超浅隔离结构的多点式硅晶体管 公开/授权日:2010-04-21
IPC分类: