发明授权
CN101689749B A1N衬底上的GaN激光器及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: A1N衬底上的GaN激光器及其制造方法
- 专利标题(英): GaN lasers on ain substrates and methods of fabrication
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申请号: CN200880017940.4申请日: 2008-05-28
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公开(公告)号: CN101689749B公开(公告)日: 2011-06-08
- 发明人: R·巴特 , J·内皮尔拉 , D·兹佐夫 , C-E·扎
- 申请人: 康宁股份有限公司
- 申请人地址: 美国纽约州
- 专利权人: 康宁股份有限公司
- 当前专利权人: 康宁股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 刘佳
- 优先权: 60/932,450 2007.05.31 US; 11/893,188 2007.08.15 US
- 国际申请: PCT/US2008/006727 2008.05.28
- 国际公布: WO2008/150401 EN 2008.12.11
- 进入国家日期: 2009-11-30
- 主分类号: H01S5/323
- IPC分类号: H01S5/323 ; H01S5/343 ; H01L33/00
摘要:
提出了一种Ga(In)N基激光器结构及其相关制造方法,其中Ga(In)N基半导体激光器以避免半导体结构中不适当的拉伸应力所需要的方式形成在AlN或GaN衬底(20)上。根据本发明的一个实施例,Ga(In)N基半导体激光器提供在具有AlGaN晶格调整层(30)的AlN或GaN衬底上,其中激光器的衬底(20)、晶格调整层(30)、下覆区(60)、有源波导区(40)、上覆区(50)以及N和P型接触区(70,60)在半导体激光器中形成一结构连续。公开并要求保护了另外的实施例。
公开/授权文献
- CN101689749A AIN衬底上的GaN激光器及其制造方法 公开/授权日:2010-03-31