A1N衬底上的GaN激光器及其制造方法
摘要:
提出了一种Ga(In)N基激光器结构及其相关制造方法,其中Ga(In)N基半导体激光器以避免半导体结构中不适当的拉伸应力所需要的方式形成在AlN或GaN衬底(20)上。根据本发明的一个实施例,Ga(In)N基半导体激光器提供在具有AlGaN晶格调整层(30)的AlN或GaN衬底上,其中激光器的衬底(20)、晶格调整层(30)、下覆区(60)、有源波导区(40)、上覆区(50)以及N和P型接触区(70,60)在半导体激光器中形成一结构连续。公开并要求保护了另外的实施例。
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