电子发射装置的制造方法及其存储介质或记录介质
摘要:
提供了一种使用硼镧化合物薄膜制造高强度电子发射装置的方法和设备。在布置有电子发射基础构件的第二基板上累积低功函数物质靶的溅射粒子。通过使用用于遮蔽电子发射基础构件区域并开放其它区域的掩模,对第二基板上的低功函数物质的沉积物进行蚀刻,之后,利用密封剂密封第二基板和布置有荧光体的第一基板,以制作真空室。在制作步骤期间,将第一基板和第二基板始终维持真空环境或减压环境。
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