发明授权
- 专利标题: 半导体封装件的检测系统及方法
- 专利标题(英): System and method for inspection of semiconductor packages
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申请号: CN200910205728.7申请日: 2009-06-23
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公开(公告)号: CN101672802B公开(公告)日: 2014-07-16
- 发明人: 阿曼努拉·阿杰亚拉里 , 葛汉成 , 兴立光 , 艾伯特·阿奇瓦梅蒂
- 申请人: 联达科技设备私人有限公司
- 申请人地址: 新加坡新加坡
- 专利权人: 联达科技设备私人有限公司
- 当前专利权人: 联达科技设备私人有限公司
- 当前专利权人地址: 新加坡新加坡
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邱军
- 主分类号: G01N21/88
- IPC分类号: G01N21/88
摘要:
本发明公开了一种半导体封装件的检测系统和方法。该系统包括发光组件、棱镜组件、第一相机和第二相机。棱镜组件包括多个表面。反射离开位于准备好的位置的半导体组装件的光,在从棱镜组件出射并进入第一相机和第二相机中的一个之前进入棱镜组件。第一相机和第二相机具有不同的放大倍数。第一相机捕获半导体封装件的底面以及四个侧面中每一个的图像。第二相机仅捕获半导体封装件的底面图像。发光组件提供的光具有预定组属性,所述预定组特性可以变化以增强特定的缺陷探测。第一相机和第二相机捕获的图像被传送到控制器从而用于分析。
公开/授权文献
- CN101672802A 半导体封装件的检测系统及方法 公开/授权日:2010-03-17