一种电容式多轴加速度计，其主要是在基板上的支撑基座间设有第一质量块，此第一质量块是透过两悬臂以非对称的方式悬挂设置在支撑基座上，以感测垂直于基板方向的第一方向加速度；在第一质量块内，设置有第二质量块，此第二质量块是透过弹簧组被悬挂设置在第一质量块上，以感测平行于基板方向的第二方向加速度；在第二质量块内，亦可设置有第三质量块，此第三质量块透过弹簧组被悬挂设置在第二质量块上，以感测第三方向的加速度。其中，第一方向、第二方向和第三方向彼此正交。本发明可有效提高电容式多轴加速度计的线性度、降低它轴的灵敏度与感测结构的尺寸，优越的性能将满足例如游戏机、手机与3D指向器等消费性产品和传统汽车安全应用的需求。