• 专利标题: 一种主被动结合的移相干涉波面测量方法
  • 专利标题(英): Measuring method of active and passive combined phase shifting interference wave surface
  • 申请号: CN200810188354.8
    申请日: 2008-12-25
  • 公开(公告)号: CN101639383B
    公开(公告)日: 2010-12-29
  • 发明人: 郝群朱秋东汤磊胡摇
  • 申请人: 北京理工大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
  • 专利权人: 北京理工大学
  • 当前专利权人: 北京理工大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
  • 代理机构: 北京理工大学专利中心
  • 代理商 张利萍
  • 主分类号: G01J9/02
  • IPC分类号: G01J9/02
一种主被动结合的移相干涉波面测量方法
摘要:
本发明为一种主被动结合的移相干涉波面测量方法,第一步:对被测口径内任意点引入环境干扰造成的被动移相量以及主动移相量;第二步:从光强-时间曲线中找到极大值和极小值,求得背景项和调制项;第三步:解得第i帧干涉图中点相位;第四步:得到该点在不同干涉图中的对应的相位信息;第五步:叠加各帧相位信息图求平均,得到被测的波面相位分布的测量结果,本发明的测量方法简单,对环境要求不高,无需特别的减振或隔绝气流措施;主被动结合,测量效率较高;有效消除环境干扰的影响,实现波面的高精度测量。
公开/授权文献
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