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发明授权
CN101620057B 基于有序介孔材料SBA-15的石英晶体微天平湿度传感器的制备方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 基于有序介孔材料SBA-15的石英晶体微天平湿度传感器的制备方法
  • 专利标题（英）： Method for preparing quartz crystal microbalance humidity sensor based on sequential silica-based mesoporous materials SBA-15
  • 申请号： CN200910052378.5
    申请日： 2009-06-02
  • 公开(公告)号： CN101620057B
    公开(公告)日： 2011-03-30
  • 发明人: 朱永恒 , 徐甲强 , 许鹏程 , 张源 , 郑琦
  • 申请人： 上海大学
  • 申请人地址： 上海市宝山区上大路99号
  • 专利权人： 上海大学
  • 当前专利权人： 上海大学
  • 当前专利权人地址： 上海市宝山区上大路99号
  • 代理机构： 上海上大专利事务所
  • 代理商 顾勇华
  • 主分类号： G01N5/02
  • IPC分类号： G01N5/02 ;  B81C5/00
基于有序介孔材料SBA-15的石英晶体微天平湿度传感器的制备方法
摘要：
本发明涉及一种基于有序硅基介孔材料SBA-15的石英晶体微天平湿度传感器的制备方法，属湿敏材料及湿度传感器技术领域。本发明采用比表面积大、吸附性能好、孔径均一且尺寸在纳米尺度上可调、结构高度有序的硅基介孔材料SBA-15作为石英晶体微天平(QCM)质量型传感器的湿敏材料，构建湿度传感器。本发明制备的湿度传感器具有湿度量程大(可以在整个相对湿度范围内测量)、湿滞小、响应快、灵敏度高、重复性好、性能稳定、制作工艺简单，材料用量少、抗腐蚀、成本低、易于集成化等特点。本发明不仅为QCM质量型传感器找到了一种很好的湿敏材料，更为有序硅基介孔材料的应用开辟了一个新领域。
摘要（英）：

The invention relates to a method for preparing quartz crystal microbalance humidity sensor based on sequential silica-based mesoporous materials SBA-15, belonging to the technical field of humidity sensitive material and humidity sensor. The invention adopts the silica-based mesoporous materials SBA-15 with large specific surface areas, good absorption property, uniform bore diameters, adjustable dimensions in nanometer admeasurement and sequential structural height as the humidity sensitive materials of a quartz crystal microbalance (QCM) quality type sensor to prepare the humidity sensor. The humidity sensor has the advantages of large humidity measuring range (can be measured within a whole relative humidity range), little humidity hysteresis, fast response, high sensitivity, good repeatability, stable property, simple manufacturing technology, small material using amount, corrosion resistance, low cost, easy integrating, and the like, not only provides the very good humidity sensitive materials for the quartz crystal microbalance (QCM) quality type sensor, but also opens a new way for the application of the sequential silica-based mesoporous materials.

公开/授权文献
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