冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法
摘要:
本发明提供了一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法,采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶,生长完毕后,保持晶体生长炉内真空度,不关电源,按一定的降温程序减小加热功率直至功率等于零,再通入惰性气体进行快速冷却。本发明的有益效果在于:1.可降低晶体位错密度,可降低大直径、高膨胀系数晶体的晶格空位、消除晶格畸变、位错等缺陷密度,防止晶体开裂,提高晶体质量和利用率;2.晶体实现原位退火,在保证晶体质量的前提下可缩短晶体生长周期;3.可降低生产成本。
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