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公开(公告)号：CN101580965B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200910072376.2
申请日：2009-06-26
申请人： 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法，采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶，生长完毕后，保持晶体生长炉内真空度，不关电源，按一定的降温程序减小加热功率直至功率等于零，再通入惰性气体进行快速冷却。本发明的有益效果在于：1.可降低晶体位错密度，可降低大直径、高膨胀系数晶体的晶格空位、消除晶格畸变、位错等缺陷密度，防止晶体开裂，提高晶体质量和利用率；2.晶体实现原位退火，在保证晶体质量的前提下可缩短晶体生长周期；3.可降低生产成本。
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公开(公告)号：CN101580963B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200910072378.1
申请日：2009-06-26
申请人： 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种300mm以上蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法。在300mm蓝宝石单晶生长炉内，完成装炉、真空条件下化料、引晶、放肩、等径生长、拉脱、冷却及退火及出炉工艺过程，本发明在原有冷心放肩微量提拉制备法基础上进行了很大改进，具有晶体尺寸更大，品质更高，尺寸更加合理，材料利用率更高，单位生产成本更低等优点，能够生长出尺寸大于Φ320×260mm、纯度高、缺陷密度低、光学性能好的蓝宝石单晶，能够更好地满足国防军工及民用领域对大尺寸、高品质蓝宝石晶体材料的需求，通过控制引晶形态，减少了缺陷发生的几率；同时通过改变提拉速度和降温速度，控制晶体肩部形态，减小了肩部应力，降低了晶体开裂的可能性。
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公开(公告)号：CN101580965A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200910072376.2
申请日：2009-06-26
申请人： 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法，采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶，生长完毕后，保持晶体生长炉内真空度，不关电源，按一定的降温程序减小加热功率直至功率等于零，再通入惰性气体进行快速冷却。本发明的有益效果在于：1.可降低晶体位错密度，可降低大直径、高膨胀系数晶体的晶格空位、消除晶格畸变、位错等缺陷密度，防止晶体开裂，提高晶体质量和利用率；2.晶体实现原位退火，在保证晶体质量的前提下可缩短晶体生长周期；3.可降低生产成本。
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公开(公告)号：CN101580963A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200910072378.1
申请日：2009-06-26
申请人： 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种300mm以上蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法。在300mm蓝宝石单晶生长炉内，完成装炉、真空条件下化料、引晶、放肩、等径生长、拉脱、冷却及退火及出炉工艺过程，本发明在原有冷心放肩微量提拉制备法基础上进行了很大改进，具有晶体尺寸更大，品质更高，尺寸更加合理，材料利用率更高，单位生产成本更低等优点，能够生长出尺寸大于Φ320×260mm、纯度高、缺陷密度低、光学性能好的蓝宝石单晶，能够更好地满足国防军工及民用领域对大尺寸、高品质蓝宝石晶体材料的需求，通过控制引晶形态，减少了缺陷发生的几率；同时通过改变提拉速度和降温速度，控制晶体肩部形态，减小了肩部应力，降低了晶体开裂的可能性。
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公开(公告)号：CN201411510Y
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200920100240.3
申请日：2009-06-26
申请人： 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种用于大尺寸蓝宝石单晶生长炉的鸟笼状电阻发热体。它包括两个铜半环、纵向钨棒和横向钨棒，两个铜半环与单晶炉电极相连接，六组纵向钨棒分别通过钼螺栓固定在铜半环上，固定在同一个铜半环上的钨棒相互之间用两组横向钨棒连接在一起，横向钨棒与纵向钨棒通过钨丝连接绑紧。本实用新型发热体具有热量供给均匀，温场分布均匀稳定等特点，而且其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度，非常适合于冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶。结合冷心放肩微量提拉法的要求，本实用新型发热体还应具备其它特点：其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度。
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公开(公告)号：CN201020638Y
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200720115929.4
申请日：2007-04-10
申请人： 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
IPC分类号： B24B1/04
摘要： 本实用新型提供的是一种超声振动磨削复合加工工具。它包括与数控机床或钻床的刀柄相配合的连接件，连接件上安装有主轴，主轴上安装有换能器，换能器与变幅杆相连，刀具安装在变幅杆上；换能器还通过碳刷与超声波发生器相连。本实用新型具有加工效率高、表面质量好、加工表面损伤和残余应力都较小、刀具损耗小、成本低等优点。具有广阔的应用前景，能够创造出明显的社会效益和经济效益。
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公开(公告)号：CN201411509Y
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200920100239.0
申请日：2009-06-26
申请人： 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体。它包括炉壳、炉底、炉盖、坩埚、支撑棒、发热体和保温结构，保温结构由坩埚盖、上隔热屏、下隔热屏、多层保温筒、保温填料、耐火砖、金属筒组成，本实用新型采用鸟笼结构钨发热体，有利于提供均匀稳定的温场，并保证其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度，轴向和径向温度梯度小，符合冷心放肩微量提拉法对于温场分布的要求。本实用新型采用冷心放肩微量提拉法，具有温场分布均匀稳定、轴向和径向温度梯度都比较小，保温效果好等特点。
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