发明授权
- 专利标题： 形成氧化锌涂覆制品的方法
- 专利标题（英）： Method of forming a zinc oxide coated article
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申请号： CN200780031959.X申请日： 2007-05-03
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公开(公告)号： CN101553601B公开(公告)日： 2012-12-12
- 发明人: M·B·阿布拉姆斯 , R·Y·科罗特科夫 , G·S·西尔弗曼 , R·史密斯 , J·L·斯特里克
- 申请人： 皮尔金顿集团有限公司 , 阿肯马公司
- 申请人地址： 英国默西赛德郡
- 专利权人： 皮尔金顿集团有限公司,阿肯马公司
- 当前专利权人： 皮尔金顿集团有限公司,阿肯马公司
- 当前专利权人地址： 英国默西赛德郡
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 吕彩霞; 孙秀武
- 优先权： 60/840,914 2006.08.29 US
- 国际申请： PCT/US2007/010669 2007.05.03
- 国际公布： WO2008/027087 EN 2008.03.06
- 进入国家日期： 2009-02-27
- 主分类号： C23C16/40
- IPC分类号： C23C16/40 ; C23C16/453 ; C03C17/245
摘要：
本文中描述和要求保护的发明涉及一种在基体上沉积氧化锌涂层的化学气相沉积法，该方法通过将两种气态前体气流输送至基体表面，并使气态前体气流在基体表面混合足够短的时间，从而以大于5纳米/秒的沉积速度形成氧化锌涂层。
公开/授权文献
- CN101553601A 形成氧化锌涂覆制品的方法 公开/授权日：2009-10-07
IPC分类:
