发明授权
CN101533793B 部件测试装置以及部件输送方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 部件测试装置以及部件输送方法
- 专利标题(英): Component test apparatus and component transport method
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申请号: CN200910126092.7申请日: 2009-03-10
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公开(公告)号: CN101533793B公开(公告)日: 2011-04-13
- 发明人: 盐泽雅邦 , 藤森广明
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚; 吴孟秋
- 优先权: 2008-061452 2008.03.11 JP
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66 ; H01L21/677
摘要:
本发明提供了进行电子部件的测试的部件测试装置及部件测试方法。其中,该部件测试装置包括部件供给装置、输送爪和部件排出装置。上述多个功能台相互具有不同的功能,同时沿上述输送爪的移动方向等间隔地被排列。上述输送爪包括可分别保持上述电子部件且可相互独立地驱动的多个定位单元。上述多个定位单元沿从上述供给位置向上述测试位置的上述电子部件的输送方向以与上述功能台的排列间隔相同的间隔被排列。
公开/授权文献
- CN101533793A 部件测试装置以及部件输送方法 公开/授权日:2009-09-16
IPC分类: