• 专利标题: 溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜晶体管的方法
  • 专利标题(英): Method for preparing zinc oxide thin-film transistor by sol gel method
  • 申请号: CN200910071288.0
    申请日: 2009-01-16
  • 公开(公告)号: CN101510513B
    公开(公告)日: 2010-07-07
  • 发明人: 乔英杰李辰砂
  • 申请人: 哈尔滨工程大学
  • 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号1号楼哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室
  • 专利权人: 哈尔滨工程大学
  • 当前专利权人: 哈尔滨工程大学
  • 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号1号楼哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室
  • 主分类号: H01L21/336
  • IPC分类号: H01L21/336 H01L21/368
溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜晶体管的方法
摘要:
本发明提供的是一种溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜晶体管的方法。配制含醋酸锌和二乙醇胺的异丙醇溶液;将含醋酸锌和二乙醇胺的异丙醇溶液旋涂或拉膜涂覆于ATO/ITO/glass基体的ATO层上,ATO层和ITO层的厚度分别在400nm以下;在150℃到200℃预热10-15分钟,而后在400℃到650℃下热处理15-20分钟;重复进行涂覆、预热和热处理操作至形成的氧化锌薄膜厚度达到30nm-100nm;用蒸镀方法在氧化锌薄膜表面制备源漏电极阵列。采用本发明的方法制备的氧化锌薄膜场效应晶体管,氧化锌半导体薄膜具有理想的晶形结构和半导体性能,克服了溶液法以外其它方法的生产成本高和其它溶液法制备的氧化锌薄膜场效应晶体管的性能低下的缺点。
公开/授权文献
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