一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统
摘要:
本发明公开了一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统,该系统包括设置在计算机内的主控制模块、两个宏微运动平台控制模块和同步控制模块;两个宏微运动平台控制模块均包括微动平台控制模块,跟随控制模块,宏动平台控制模块,激光测量模块,以及光栅测量模块。本发明引入了微动平台位置转换器,简化了微动平台的控制;提出了力作用转换器,提高了宏动平台的跟踪精度;采用宏动平台跟踪微动平台的控制方式,防止了微动平台运动饱和的发生,提高了宏微运动平台的定位精度;采用了双层宏微运动平台同步控制器,减小了同步误差,并改善了双层宏微运动平台的同步精度。本发明可应用于数控机床的运动系统,也可应用于MEMS等其他超精密定位系统。
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