发明授权
CN101458532B 一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统
- 专利标题(英): Synchronous control system for ultraprecise double-layer macro/micromotion platform
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申请号: CN200810048377.9申请日: 2008-07-11
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公开(公告)号: CN101458532B公开(公告)日: 2010-06-30
- 发明人: 陈学东 , 鲍秀兰 , 罗欣 , 叶燚玺 , 曾理湛 , 李小平 , 姜伟 , 雷金
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 曹葆青
- 主分类号: G05D3/20
- IPC分类号: G05D3/20
摘要:
本发明公开了一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统,该系统包括设置在计算机内的主控制模块、两个宏微运动平台控制模块和同步控制模块;两个宏微运动平台控制模块均包括微动平台控制模块,跟随控制模块,宏动平台控制模块,激光测量模块,以及光栅测量模块。本发明引入了微动平台位置转换器,简化了微动平台的控制;提出了力作用转换器,提高了宏动平台的跟踪精度;采用宏动平台跟踪微动平台的控制方式,防止了微动平台运动饱和的发生,提高了宏微运动平台的定位精度;采用了双层宏微运动平台同步控制器,减小了同步误差,并改善了双层宏微运动平台的同步精度。本发明可应用于数控机床的运动系统,也可应用于MEMS等其他超精密定位系统。
公开/授权文献
- CN101458532A 一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统 公开/授权日:2009-06-17