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半导体器件的制造方法
摘要:
本发明涉及一种半导体器件的制造方法。本发明的课题在于推进QFN(四方扁平无引线封装)的多管脚化。半导体芯片(2)在被安装在管芯底座部(4)上的状态下被配置在密封体(3)的中央部。在管芯底座部(4)的周围,以由与管芯底座部(4)和悬吊引线(5b)相同的金属构成的多条引线(5)包围管芯底座部(4)的方式进行了配置。这些引线(5)的一个端部一侧(5a)经Au焊丝(6)与半导体芯片(2)的主面的键合焊盘导电性地连接,另一个端部一侧(5c)以密封体(3)的侧面为终端。为了缩短每一条引线(5)与半导体芯片(2)的距离,一个端部一侧(5a)分布在管芯底座部(4)的附近,一个端部一侧(5a)的与邻接的引线(5)的间距比另一个端部一侧(5c)的与邻接的引线(5)的间距小。
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