发明授权
- 专利标题: 曝光装置
- 专利标题(英): Exposure apparatus
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申请号: CN200780012149.X申请日: 2007-04-12
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公开(公告)号: CN101416115B公开(公告)日: 2011-03-02
- 发明人: 佐治伸仁
- 申请人: 日本精工株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日本精工株式会社
- 当前专利权人: 恩斯克科技有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京泛诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨本良; 文琦
- 优先权: 136591/2006 2006.05.16 JP
- 国际申请: PCT/JP2007/058111 2007.04.12
- 国际公布: WO2007/132610 JA 2007.11.22
- 进入国家日期: 2008-10-06
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; H01L21/027
摘要:
本发明提供一种曝光装置,在通过使基板和掩模相对移动来进行图案曝光时,可对非曝光区域适当地遮光。在曝光区域的曝光中,通过对该曝光用的光EL横切遮光构件(20)并向上游侧移动,不管曝光区域个数,使用一个遮光构件(20)都可以避免非曝光区域的曝光。
公开/授权文献
- CN101416115A 曝光装置 公开/授权日:2009-04-22
IPC分类: