发明授权
CN101416115B 曝光装置 失效 - 权利终止 转让

曝光装置
摘要:
本发明提供一种曝光装置,在通过使基板和掩模相对移动来进行图案曝光时,可对非曝光区域适当地遮光。在曝光区域的曝光中,通过对该曝光用的光EL横切遮光构件(20)并向上游侧移动,不管曝光区域个数,使用一个遮光构件(20)都可以避免非曝光区域的曝光。
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