在设备中用于制造碳纳米管的触媒散布装置
摘要:
根据本发明示范性范例提供一种在设备中用于制造碳纳米管的触媒散布装置,包含:网舟,其储存要散布在基板上的触媒,并包括具有网状物的底部;输送单元,其输送该网舟或该基板;以及振动单元,其振动该网舟来将该触媒散布在该基板上。
公开/授权文献
0/0