一种高纯度多晶硅的制造装置，包括：氯化硅的气化装置；锌熔融蒸发装置；外周面具备加热机构的立式反应器；连接在氯化硅的气化装置和立式反应器间的氯化硅气体供给喷嘴，将氯化硅的气化装置提供的氯化硅气体供应到立式反应器；连接在锌熔融蒸发装置和立式反应器间的锌气体供给喷嘴，将锌熔融蒸发装置提供的锌气体供应到立式反应器；及与立式反应器相连的排气抽出管。锌熔融蒸发装置包括蒸发器；与蒸发器上部相连的主纵筒部；插入主纵筒部内部的固态物分离管；与固态物分离管倾斜相连的锌导入用管；围绕固态物分离管的下端开口部且构成其底面的密封罐；安装在主纵筒部外周面且可调节温度的感应加热装置；及与蒸发器的侧壁相连的气体排放用管。